产品介绍:全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统,有效保证洁净等级,满足制程需求class10/100。配置多种喷淋清洗工艺,可实现360°清洗,保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率,满足低湿度要求,湿度实时监控。(Option)1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议,SECS/GEM200/300。2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。3.符合SEMIS2、S8/CE半导体制造标准及认证。应用范围:该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。我司设备具有高精度特点,确保生产质量!山西半自动晶圆盒清洗机哪家便宜
提供各种半导体片盒、FOUP、FOSB清洁方案客户定制清洗方案做到360度无死角清洗,并防止细菌滋生专项研发双流体旋转喷射清洗方式,实现超微精密清洗,节能设计;高效干燥技术,AMC化合物去除技术全生产过程实时监控,兼容自动传输系统(AMHS);SEMI通讯标准兼容GEM300,符合SEMIS2、S8标准高产量,占地面积设计。
我们的晶圆盒清洗机配备了高精度的传感器和控制系统,能够精确控制清洗和干燥的时间和温度,确保清洗和干燥的效果稳定可靠。同时,我们的晶圆盒清洗机具有多种智能功能,能够自动识别晶圆盒类型,自动调整清洗和干燥的参数,提高生产效率。操作简单,维护方便,降低使用成本。选择我们的晶圆盒清洗机,让您的晶圆生产更加高效! 江苏全自动花篮清洗机哪家便宜江苏芯梦设备采用先进技术,助你轻松提升产能!
晶圆盒清洗机包括
FoupCleaner;
Xtrim-FC-M300/400高速型;
FouPCleaner;
Xtrim-FC-H300水平机
AutoFOUP/FOSBCleaningSystem
全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300
Xtrim-FC-M300Introduction:
产品介绍:
Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;
在清洗机行业超25年经验;
ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;
在上海,苏州有完善的服务和销售团队
Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;
自主研发设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;
SEMI S2认证;
全自动FOUP清洗机
特征和优点:
可应用不同化学品(稀释剂)来清洗;
泵传输清洗液;
计量调整可通过软件设置控制操作;
热水喷淋装置;
热水一般由厂务供应一标准化;
或有一个体积约100升的热水预备槽(循环泵和加热棒用于热水预备槽选项)
图形化的界面:
易于操作和控制;
10“触摸屏PLC控制器;
SECSIIGEM接口一选项>授权访问的密码保护;
可以编辑40多个菜单,每个菜单可有50步;
可变量数据输入(时间、温度、速度等);
设备背面安装第二个触摸屏一选项;
江苏芯梦的设备操作简便,适用于各种生产场景,提高效率!
产品介绍:
全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金属离子清洗。
设备配备多级精密过滤系统,有效保证洁净等级,满足制程需求class10/100。
配置多种喷淋清洗工艺,可实现360°清洗,
保证制程的高精度清洗需求。
配备真空干燥系统可提升效率,满足低湿度要求,湿度实时监控。
1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议,SECS/GEM200/300。
2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。
3.符合SEMIS2、S8/CE半导体制造标准及认证。
应用范围:该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。
芯梦设备操作简单,维护方便,降低你的使用成本!河北全自动FOUP清洗机厂家报价
芯梦设备采用先进的自动化控制技术,提升生产效率!山西半自动晶圆盒清洗机哪家便宜
FOUP清洗机的清洗通常涉及以下几个步骤:预处理:在FOUP清洗机中,FOUP首先会经过预处理步骤,以去除表面的大颗粒和杂质。这可能涉及使用喷淋装置、超声波清洗器等设备,以喷射和震动的方式清洗FOUP表面。清洗剂喷洒:清洗剂会被喷洒到FOUP表面,以去除附着在表面的污染物、油脂和有机物。清洗剂通常是一种化学溶液,具有去除污染物的特性。机械搅拌:一些FOUP清洗机可能具有机械搅拌功能,通过旋转或搅拌FOUP,在清洗剂的作用下,进一步加强清洗效果。机械搅拌可以帮助清洗剂更好地接触到FOUP表面的污染物,并将其彻底去除。冲洗:在清洗剂作用一段时间后,清洗机会进行冲洗步骤,将清洗剂和被去除的污染物冲洗掉。通常使用清洁的水源进行冲洗,以确保残留的清洗剂和污染物完全被去除。干燥:冲洗后,FOUP会进入干燥步骤,以去除残留的水分。这可以通过喷气装置、热风等方式实现。干燥是为了确保FOUP表面彻底干燥,避免水分残留引起的污染或其他问题。检测和质量控制:在清洗过程的不同步骤中,可以使用传感器、仪器和监测设备对FOUP进行检测和质量控制。这可以包括检测洁净度、颗粒检测、残留物检测等,以确保清洗效果符合要求。山西半自动晶圆盒清洗机哪家便宜
芯梦围绕公司价值观,服务、创新、奋斗、分享、团结,始终坚持为客户提供技术创新和质量过硬的自主可控的半导体设备,不断追求质量精益求精和环境友好,先后通过了ISO9001质量管理体系认证和ISO140001环境管理体系认证。我们的全自动ENEPIG化学镀设备、全自动/半自动晶圆盒清洗机、全自动单片清洗机等产品均通过了SEMIS2、S8等国际半导体行业标准认证。近年来,芯梦蓬勃发展,荣获了国家高新技术企业、江苏省潜在独角兽企业、苏锡常首台套重大装备、江苏省企业工程技术研究中心、江苏省三星级上云企业等多项荣誉资质。